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チャックシステム
ホットチャックシステム
<12ｲﾝﾁ用対応ホットチャック> ＜温度分布＞	TDDB・EM等でのRT〜300℃の高温測定ニーズにお応えします
	独自に設計したホットプレート、温度コントローラーにより高精度温度コントロール、温度分布を実現しました。チャックトップにはセラミックを使用しており、熱ひずみが小さく、多点プロービングに最適です。 当社のアルファシリーズ・マニュアルプローバーと組み合わせることにより低リーク高温測定が可能です。また、お手持ちのプローブステーションへのホットチャック搭載のご提案も承っております。
	＜温度コントローラー＞	＜用途例1＞ 12インチTDDB測定用 マニュアルプローバーに搭載
サーモチャックシステム