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チャックシステム
 ホットチャックシステム  
 <12インチ用対応ホットチャック>



<温度分布>

  TDDB・EM等でのRT〜300℃の高温測定ニーズにお応えします 
独自に設計したホットプレート、温度コントローラーにより高精度温度コントロール温度分布を実現しました。チャックトップにはセラミックを使用しており、熱ひずみが小さく、多点プロービングに最適です。
当社のアルファシリーズ・マニュアルプローバーと組み合わせることにより
低リーク高温測定が可能です。また、お手持ちのプローブステーションへのホットチャック搭載のご提案も承っております。 
<温度コントローラー>   <用途例1>
12インチTDDB測定用
マニュアルプローバーに搭載

 
 サーモチャックシステム  
     
標準使用温度範囲:-40℃〜+120℃
αシリーズのプローバに搭載して高低温環境の測定にご使用頂けます。

<用途例2>
液晶用光照射プローバーに搭載
*各チャックとも高電圧測定、多点測定、基板材料等
測定内容により、チャックトップの材質、色、メッキ等を決定いたします。
  
  TEL 06-6838-3233 / FAX 06-6838-3234

 
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