4インチウエハまでのIV/CV測定に最適な小型のプローバ
◎4インチまでのウエハサイズに対応したコンパクトなプローバです。

◎ステージのXYはクイックポジションでの粗動、マイクロメーターでの微動機構を持っています。

◎プラテンのZはレバー操作での粗動とマイクロメーターでの微動機構を持っています。

◎使い勝手を含めて高い満足度を頂いています。

★2020年6月出荷分より新モデルに切り替わりました。
・現モデルで好評を頂いております、新α100は、よりコンパクトになりました。
・Z位置切り替えレバーが手前/横方向レバー操作から、左奥/上下方向レバー操作になり、より扱いやすくなりました。
・Z微動の調整範囲が5㎜→10㎜に拡大しました。

4つのポジショナーやプローブをセットして特別価格で提供しております
微小電流測定パッケージについてはこちらからダウンロードへお進みください。