真空環境、ガス環境での極低温～高温の自動測定
～有機デバイス、パワーデバイスに～

 

 

◎4インチ角までのサンプルサイズに対応した真空セミオートプローバです。（6インチもラインナップ追加予定）

◎多数デバイスを連続的に自動で測定できるので、効率的な測定が実施できます。

◎-190℃～+200℃のステージを搭載

◎設計上の到達真空度は1×10-3Pa台

◎真空環境とすることにより、高電圧測定での放電対策に有効。（パワーデバイスの高電圧測定）

◎セミオートプローバーAPシリーズと共通の、オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフトです。

◎モデルを使用して、ウェハの角度調整、XY位置の微調整を行うウエハアライメント機能を有しています。

◎GP-IB通信で、半導体パラメータアナライザなどの測定器、上位PCからセミオートプローバを制御することが可能です。

 

★真空プローバーで高電圧印加時の放電抑制を検証した資料はこちらです。