製品情報line up
真空プローバー MJ-8 MJ-10
極低温～超高温での温度特性評価、真空環境、ガス環境測定
◎非常に小型なので机上で容易に測定が可能です。
◎真空中でも外部操作型ポジショナ（プローブ）で移動ができます。
◎シールド効果が抜群で、光・ノイズをシャットアウトします。
◎MJ-8はホール効果測定を考慮した薄型です。→ 詳細はこちらです
★真空プローバーで高電圧印加時の放電抑制を検証した資料はこちらです。
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- アプリケーション
- 微小電流IV測定
- CV測定
- ハイパワーの測定
- 高低温環境での温度特性試験
- ガス環境下での測定
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- オプション
- ‐180℃～+600℃の冷加温ステージ（液体窒素冷却）
- 5K～473Kの冷加温ステージ（液体ヘリウム冷凍機冷却）
- ステージのXY移動仕様
- ポジショナー6個までの拡張
- 光透過型ステージ仕様
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- 選べる光学系
- 実体顕微鏡（標準）
- 三眼実体顕微鏡
- ズームマイクロCCDカメラ
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- 接続が想定される測定器
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- 半導体パラメータアナライザ
- ソースメジャーユニット
- LCRメータ
- デジタルマルチメータ
- その他、各社の各種測定器
| MJ-8 | MJ-10 | |
| 標準ステージサイズ | 20×20㎜ | φ60㎜ |
| 器内真空度 （ターボポンプ使用時） | 10ｰ³ Pa | 10-³ Pa |
| チャンバー寸法 | φ116×30㎜（H） | φ216×138㎜（H） |
| 探針移動距量 | X：5㎜ Y：5㎜ Z：3㎜ | X：8㎜ Y：5㎜ Z：8㎜ |
| 探針動作カバー範囲 | X：約18㎜ Y：約15㎜ | X：約40㎜ Y：約20㎜ |
| 全体寸法（標準型） （W×D） | 280×244㎜ | 450×138㎜ |
| 重量（標準型） | 4.5㎏ | 16㎏ |
