小型真空プローバーMJ-8の冷却ステージにスターリング冷凍機を組合せました。

設置場所の関係でどうしても液体窒素をご使用になれないという場合があると思います。

液体窒素ほど冷やすことはできませんが、チャンバー内の真空度にもよりますが-80~-100℃程度までステージを冷やすことも可能です。

ちなみに大気中ですとステージ温度で-40℃程度が限界です。

もちろんヒーターと組み合わせて高低温ステージにすることも可能ですが、高温側の上限は200℃となります。

 

冷凍機の振動が気になるということもあるかもしれませんが、

振動はうまく遮断できる構造となっております。

 

ご検討の際は

こちらからお問合せ下さい。

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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