チップ裏面の光検出、裏面からの光照射ができるホットチャック

例えば光半導体で裏面発光を検出したいとき、またデバイスに裏面から光を照射したい時などに使える、

中心に貫通穴があるホットチャックです。温度測定と光用途を両立したホットチャックです。

動画はマニュアルプローバα150LXに搭載したものです。

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