◎ダイアライメント（オートXYZ）機能
高低温測定時のウエハの膨張などに対応して自動でコンタクト位置を補正する機能です。

 

◎自動チップアライメント

例えば個辺チップをトレイに並べて自動測定するようなシーンに有効な機能です。

 

 

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