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マニュアルプローバー α100

マニュアルプローバー α100

4インチウエハまでのIV/CV測定に最適な小型のプローバー
◎4インチまでのウエハサイズに対応したコンパクトなプローバーです。

◎ステージのXYはクイックポジションでの粗動、マイクロメーターでの微動機構を持っています。

◎プラテンのZはレバー操作での粗動とマイクロメーターでの微動機構を持っています。

◎使い勝手を含めて高い満足度を頂いています。

 

★2020年6月出荷分より新モデルに切り替わりました。
・現モデルで好評を頂いております、新α100は、よりコンパクトになりました。
・Z位置切り替えレバーが手前/横方向レバー操作から、左奥/上下方向レバー操作になり、より扱いやすくなりました。
・Z微動の調整範囲が5㎜→10㎜に拡大しました。

 

4つのポジショナーやプローブをセットして特別価格で提供しております
微小電流測定パッケージについてはこちらからダウンロードへお進みください。

 

  • マニュアルプローバー α100
  • マニュアルプローバー α100
  • マニュアルプローバー α100
  • アプリケーション
    • 微小電流IV測定(fAレベル)
    • CV測定
    • 高周波測定
    • シート抵抗等の各種抵抗測定
    • 温度特性試験
  • オプション
    • 室温~300℃のホットチャック
    • チャックのトライアキシャル接続
    • シールドボックスとのセット
    • プローブカード(4.5インチ角形基板)
  • 選べる光学系
    • 実体顕微鏡 (標準)
    • 三眼実体 顕微鏡
    • ズームマイクロCCDカメラ
  • 接続が想定される測定器
    • 半導体パラメータアナライザ
    • ソースメジャーユニット
    • カーブトレーサ
    • LCRメータ
    • デジタルマルチメータ
    • インピーダンスアナライザ
    • ネットワークアナライザ
    • その他、各社の各種測定器
α100
対応ウエハサイズ チップ, ~4インチ
ステージXY移動範囲(粗動) X:110㎜ Y:130㎜
ステージXY移動範囲(微動) X:±6.5㎜ Y:±6.5㎜
ステージθ移動範囲 ±5°
プラテンZ軸粗動 0ー0.3ー5㎜(3段)
プラテンZ軸微動 10㎜
外形寸法(W×D×H)※Zレバー含む 413×390×470㎜
重量 25㎏

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