製品情報

製品情報line up

マニュアルプローバー α100

マニュアルプローバー α100

4インチウエハまでのIV/CV測定に最適な小型のプローバー
◎4インチまでのウエハサイズに対応したコンパクトなプローバーです。

◎ステージのXYはクイックポジションでの粗動、マイクロメーターでの微動機構を持っています。

◎プラテンのZはレバー操作での粗動とマイクロメーターでの微動機構を持っています。

◎使い勝手を含めて高い満足度を頂いています。

  • マニュアルプローバー α100
  • マニュアルプローバー α100
  • アプリケーション
    • 微小電流IV測定(fAレベル)
    • CV測定
    • 高周波測定
    • シート抵抗等の各種抵抗測定
    • 温度特性試験
  • オプション
    • 室温~300℃のホットチャック
    • チャックのトライアキシャル接続
    • シールドボックスとのセット
    • プローブカード(4.5インチ角形基板)
  • 選べる光学系
    • 実体顕微鏡 (標準)
    • 三眼実体 顕微鏡
    • ズームマイクロCCDカメラ
  • 接続が測定される測定器
    • 半導体パラメータアナライザ
    • ソースメジャーユニット
    • カーブトレーサ
    • LCRメータ
    • デジタルマルチメータ
    • インピーダンスアナライザ
    • ネットワークアナライザ
    • その他、各社の各種測定器
α100
対応ウエハサイズ チップ, ~4インチ
ステージXY移動範囲(粗動) X:100㎜ Y:110㎜
ステージXY移動範囲(微動) X:±6.5㎜ Y:±6.5㎜
ステージθ移動範囲 ±5°
プラテンZ軸粗動 0ー0.3ー5㎜(3段)
プラテンZ軸微動 5㎜
外形寸法(W×D×H) 320×355×490㎜
重量 25㎏

pagetop