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マニュアルプローバー α150 α200 α300

マニュアルプローバー α150 α200 α300

ウエハレベルの各種測定に対応したスタンダードモデル

◎それぞれ6、8、12インチまでのウエハサイズに対応したマニュアルプローバーです。

◎チップの吸着固定にも対応しています。

◎ステージのXYはクイックポジションでの粗動、マイクロメーターでの微動機構を持っています。

◎プラテンのZはレバー操作での粗動とマイクロメーターでの微動機構を持っています。

◎使い勝手を含めて高い満足度を頂いています。

  • マニュアルプローバー α150 α200 α300
  • マニュアルプローバー α150 α200 α300
  • アプリケーション
    • 微小電流IV測定(fAレベル)
    • CV測定
    • 20kV/200Aレベルのハイパワー測定
    • 高周波測定
    • シート抵抗等の各種抵抗測定
    • 温度特性試験
    • TDDB等の信頼性試験
  • オプション
    • 室温~350℃のホットチャック
    • チャックのトライアキシャル接続
    • チャックの高電圧・大電流対応化
    • シールドボックスとのセット
    • レーザーカッターの搭載
    • プローブカード(4.5インチ角形基板)
    • 光照射機構
  • 選べる光学系
    • 実体顕微鏡(標準)
    • 三眼実体顕微鏡
    • ズームマイクロCCDカメラ
    • 金属顕微鏡
  • 接続が測定される測定器
    • 半導体パラメータアナライザ
    • パワーデバイスアナライザ
    • ソースメジャーユニット
    • カーブトレーサ
    • LCRメータ
    • デジタルマルチメータ
    • インピーダンスアナライザ
    • ネットワークアナライザ
    • その他、各社の各種測定器
α150 α200 α300
対応ウエハサイズ ~6インチ ~8インチ ~12インチ
ステージXY 移動範囲(粗動) X:150㎜ Y:200㎜ X:200㎜ Y:200㎜ X:310㎜ Y:345㎜
ステージXY 移動範囲(微動) X:±12.5㎜ Y:±12.5㎜ X:±12.5㎜ Y:±12.5㎜ X:±12.5㎜ Y:±12.5㎜
ステージθ移動範囲 ±5° ±5° ±4°
プラテンZ軸粗動 0ー0.3ー5㎜(3段) 0ー0.3ー5㎜(3段) 0ー0.5ー4㎜ (3段)
プラテンZ軸微動 10㎜ 10㎜ 10㎜
外形寸法(W×D×H) 540×635×602㎜ 540×635×602㎜ 895×760 ×700㎜
重量 70㎏ 70㎏ 165㎏

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