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マニュアルプローバー α200CS α300CS

マニュアルプローバー α200CS α300CS

-60℃~+350℃の温度特性評価、微小電流測定対応モデル

◎それぞれ8、12インチまでのウエハサイズに対応したマニュアルプローバーです。

◎ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も結露しません。

◎コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能です。

◎ステージのXYはクイックポジションでの粗動、マイクロメーターでの微動機構を持っています。

◎プラテンのZはレバー操作での粗動とマイクロメーターでの微動機構を持っています。

  • マニュアルプローバー α200CS α300CS
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  • アプリケーション
    • 微小電流IV測定(fAレベル)
    • CV測定
    • 20kV/200Aレベルのハイパワー測定
    • 高周波測定
    • シート抵抗等の各種抵抗測定
    • 高低温環境での温度特性試験
    • TDDB等の信頼性試験
  • オプション
    • -60~350℃のサーモチャック
    • チャックのトライアキシャル接続
    • チャックの高電圧・大電流対応化
    • CCDカメラタイプへの変更
    • プローブカード(4.5インチ角形基板)
    • 光照射機構
  • 選べる光学系
    • 実体顕微鏡(標準)
    • 三眼実体顕微鏡
    • ズームマイクロCCDカメラ
    • 金属顕微鏡
  • 接続が測定される測定器
    • 半導体パラメータアナライザ
    • パワーデバイスアナライザ
    • ソースメジャーユニット
    • カーブトレーサ
    • LCRメータ
    • デジタルマルチメータ
    • インピーダンスアナライザ
    • ネットワークアナライザ
    • その他、各社の各種測定器
α200CS α300CS
対応ウエハサイズ ~8インチ ~12インチ
ステージXY 移動範囲(粗動) X:200㎜ Y:200㎜ X:320㎜ Y:320㎜
ステージXY 移動範囲(微動) X:±12.5㎜ Y:±12.5㎜ X:±12.5㎜ Y:±12.5㎜
ステージθ移動範囲 ±5° ±4°
プラテンZ軸粗動 0ー0.3ー5㎜(3段) 0ー0.3ー5㎜(3段)
プラテンZ軸微動 10㎜ 10㎜
外形寸法(W×D×H) 690×780×620㎜ 965×930×700㎜
重量 80㎏ 165㎏

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