製品情報

製品情報line up

真空セミオートプローバー

真空セミオートプローバー

真空環境、ガス環境での極低温~高温の自動測定
~有機デバイス、パワーデバイスに~

 

 

◎4インチ角までのサンプルサイズに対応した真空セミオートプローバです。(6インチもラインナップ追加予定)

◎多数デバイスを連続的に自動で測定できるので、効率的な測定が実施できます。

◎-190℃~+200℃のステージを搭載

◎設計上の到達真空度は1×10-3Pa台

◎真空環境とすることにより、高電圧測定での放電対策に有効。(パワーデバイスの高電圧測定)

◎セミオートプローバーAPシリーズと共通の、オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフトです。

◎モデルを使用して、ウェハの角度調整、XY位置の微調整を行うウエハアライメント機能を有しています。

◎GP-IB通信で、半導体パラメータアナライザなどの測定器、上位PCからセミオートプローバを制御することが可能です。

  • 真空セミオートプローバー
  • 真空セミオートプローバー
  • 真空セミオートプローバー
  • 真空セミオートプローバー
  • アプリケーション

    IV測定
    CV測定
    ハイパワー測定
    高周波測定
    高低温環境での温度特性試験

  • オプション

    液体窒素による-190℃までの冷却ステージ
    最大-190~200℃の冷加熱ステージ
    圧力のコントロール

  • 接続が想定される測定器
    • 半導体パラメータアナライザ
    • パワーデバイスアナライザ
    • ソースメジャーユニット
    • カーブトレーサ
    • LCRメータ
    • その他、各社の各種測定器
VS-100 VS-150(comming soon)
対応ウエハサイズ ~4インチ(四角対応) ~6インチ
ステージXY移動量 ±50mm
ステージXYZ 制御分解能 1um
ステージXYZ再現性 ±2um以内
ステージXY精度 ±10um以内
ステージXY移動速度 30mm/sec(Max)
ステージZ軸移動量 14mm
ステージZ軸移動速度 25mm/sec(Max)
ステージθ移動範囲 ±6deg
ステージθ制御分解能 0.001deg
器内真空度 (ターボポンプ使用時) 10ー³ Pa
探針移動距量(ツマミ移動) X:8㎜ Y:5㎜ Z:8㎜
探針動作カバー範囲 X:約40㎜ Y:約20㎜
外形寸法(W×D×H) ※ポンプ除く 700×980×950㎜
重量 400

pagetop