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真空プローバー MJ-8 MJ-10

真空プローバー MJ-8 MJ-10

極低温~超高温での温度特性評価、真空環境、ガス環境測定

◎非常に小型なので机上で容易に測定が可能です。

◎真空中でも外部操作型ポジショナ(プローブ)で移動ができます。

◎シールド効果が抜群で、光・ノイズをシャットアウトします。

◎MJ-8はホール効果測定を考慮した薄型です。

  • 真空プローバー MJ-8 MJ-10
  • 真空プローバー MJ-8 MJ-10
  • 真空プローバー MJ-8 MJ-10
  • アプリケーション
    • 微小電流IV測定
    • CV測定
    • ハイパワーの測定
    • 高低温環境での温度特性試験
    • ガス環境下での測定
  • オプション
    • ‐180℃~+600℃の冷加温ステージ
    • ステージのXY移動仕様
    • ポジショナー6個までの拡張
    • 光透過型ステージ仕様
  • 選べる光学系
    • 実体顕微鏡(標準)
    • 三眼実体顕微鏡
    • ズームマイクロCCDカメラ
  • 接続が想定される測定器
    • 半導体パラメータアナライザ
    • ソースメジャーユニット
    • LCRメータ
    • デジタルマルチメータ
    • その他、各社の各種測定器
MJ-8 MJ-10
標準ステージサイズ 20×20㎜ φ60㎜
器内真空度 (ターボポンプ使用時) 10ー³ Pa 10-³ Pa
チャンバー寸法 φ116×30㎜(H) φ216×138㎜(H)
探針移動距量 X:5㎜ Y:5㎜ Z:3㎜ X:8㎜ Y:5㎜ Z:8㎜
探針動作カバー範囲 X:約18㎜ Y:約15㎜ X:約40㎜ Y:約20㎜
全体寸法(標準型) (W×D) 280×244㎜ 450×138㎜
重量(標準型) 4.5㎏ 16㎏

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