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真空セミオートプローバ―

  • 真空セミオートプローバー

    真空環境、ガス環境での極低温~高温の自動測定
    ~有機デバイス、パワーデバイスに~

     

     

    ◎4インチ角までのサンプルサイズに対応した真空セミオートプローバです。(6インチもラインナップ追加予定)

    ◎多数デバイスを連続的に自動で測定できるので、効率的な測定が実施できます。

    ◎-190℃~+200℃のステージを搭載

    ◎設計上の到達真空度は1×10-3Pa台

    ◎真空環境とすることにより、高電圧測定での放電対策に有効。(パワーデバイスの高電圧測定)

    ◎セミオートプローバーAPシリーズと共通の、オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフトです。

    ◎モデルを使用して、ウェハの角度調整、XY位置の微調整を行うウエハアライメント機能を有しています。

    ◎GP-IB通信で、半導体パラメータアナライザなどの測定器、上位PCからセミオートプローバを制御することが可能です。

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