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電子顕微鏡用ロボティックスソリューション NANO – Robotics Solutions for Electron Microscopes

SEMおよびFIB用の統合ナノプロービングソリューション。 プローブチップを半導体チップに接触させ、集積コンポーネントの電気的特性を測定し、欠陥を特定し、構造を分離します。

特徴

  • ・作動距離が短い
  • ・磁気浸漬イメージング
  • ・傾斜角( 0°~ 55°)
  • ・柔軟なプラットフォーム構成
  • ・制御、測定、報告する1つのソフトウェア
  • ・プローブホルダー:クイックチップ交換
  • ・迅速な取り付けと取り外し
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光学顕微鏡下でのソリューション

次のようなさまざまなソリューションがあります。
  • ・標準プローブステーションを後付けする
  • ・ウェーハ検査ツールと統合する
  • ・光学顕微鏡およびAFMの下に取り付ける
▶ MICRO製品ラインで詳細を探してください。
  • NANO英語サイト
  • MICRO英語サイト
 

カタログはこちらからご請求ください。

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