Imina Technologies社ナノプロービングソリューションは、マイクロエレクトロニクスデバイスの電気的特性評価、不良部解析を目的として SEM および FIB 試料室内ですぐに使用して頂けます。Precisio ™ソフトウェアで完全に制御されたワークフローは、システムのセットアップから、テスト用機器のプローブチップのコンタクト、測定値の取得と処理、およびレポート作成まで、オペレーターを支援します。 最大 8 基の miBot ™ナノプローブはさまざまな構成とオプションで提供し、アプリケーション固有の要求事項や機器の設定に対応して、お届けします。 ナノプローブロボット用のコンパクトで軽量なプラットフォーム は、あらゆる電子顕微鏡と互換性があり、 ロードロック室を有したSEMにも対応可能です。 磁気レンズを使用したSEM、 0.5kV 未満の低加速電圧SEMでも、ナノプローブ実験を行うことができます。 プラットフォームとプローバーを有したナノプローブロボット全体を傾けることができますので、 FIB 回路編集とナノプローブを同時に実行して、より迅速かつ正確な故障解析が可能です。 試料室を恒久的に変更する必要はなく、システムの取り付けと取り外しは数分で出来ます。これにより、ナノプローブ専用のSEM が不要になります。また、プローブステーションや検査ツールなど他の光学顕微鏡でImina Technologies社ナノプロービングの主要コンポーネントを簡単に取り付け操作できるように、さまざまなアクセサリーがあり、投資価値が向上します。