NANO ソリューション

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NANOソリューション 優れた信号対雑音比と定電流測定を実現する独立したケーブル配線 1~8基の独立したmiBot™ナノプロバー コンパクトまたはワイドプラネットフォームの選択、SEM位置決めステージへの直接取付またはエアロックシステムによる挿入 統合サンプルバイアス(オプション)XYZサブステージのサンプル位置決め(オプション) 短いWD(Working Distance)と低い加速電圧での観察測定を可能とする高さの調整可能な試料台サンプルサイズ 先端半径最小5nmまでの業界標準タングステンプローブチップImina Technologies の NANO ソリューションは、マイクロエレクトロニクスデバイスの電気的特性評価、不良部解析を目的として SEM および FIB 試料室内ですぐに使用して頂けます。Precisio ™ソフトウェアで完全に制御されたワークフローは、システムのセットアップから、テスト用機器のプローブチップのコンタクト、測定値の取得と処理、およびレポート作成まで、オペレーターを支援します。 最大 8 基の miBot ™ナノプロバー はさまざまな構成とオプションで提供し、アプリケーション固有の要求事項や機器の設定に対応して、お届けします。 ロボット用のコンパクトで軽量なプラットフォーム は、あらゆる電子顕微鏡と互換性があり、 ロードロック室を有したSEMにも対応可能です。 磁気レンズを使用したSEM、 0.5kV 未満の低加速電圧SEMでも、ナノプローブ実験を行うことができます。 プラットフォームとプローバーを有したロボット全体を傾けることができますので、 FIB 回路編集とナノプローブを同時に実行して、より迅速かつ正確な故障解析が可能です。 試料室を恒久的に変更する必要はなく、システムの取り付けと取り外しは数分で出来ます。これにより、ナノプローブ専用のSEM が不要になります。また、プローブステーションや検査ツールなど他の光学顕微鏡でNANOソリューションの主要コンポーネントを簡単に取り付け操作できるように、さまざまなアクセサリーがあり、投資価値が向上します。

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