NANO テクノロジー

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圧電駆動装置を、ナノメートルの位置決め精度を備えた世界で最もコンパクトな4自由度ロボット、miBot™に統合することが、Imina Technologiesの中核技術であります。 従来のマニピュレーターとは異なり、miBotは自走ロボットです。実質的に無拘束でステージ表面上を自由に動くことができます。miBotは取り付け用ネジがないので、手で任意の位置に粗く配置することができ、サンプルの形状や顕微鏡の構成の変化に自然に適応します。 マイクロメーターからナノメーターまでの変更が可能な位置決め分解能で、圧電駆動装置のさまざまな動作モードにより、最大数センチメートルまでの移動が可能です。微細な位置決めモードは、試料評価領域でのプローブの正確な針あてを可能にするのに対して、粗い位置決めモードは、評価領域に近づくまでの時間を節約します。
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miBotの一体設計の高い剛性は、この精密機器に振動に対してに頑丈で、スムーズな動きを保証します。 さらに、小型の miBot は、非常に安定した安定性を提供し、長時間にわたる測定でも安定した針あてを確保します。 miBotは固有軸で機械制御されており、回転運動と平行運動は独立で可能です。これにより、非常に直感的に制御できるので、針あて操作のトレーニング時間を大幅に短縮します。したがって繊細なサンプルに損傷を与える可能性を大幅に減らし、オペレーターは安心して微妙な位置決め操作ができます。
  • ・高い機械的安定性と熱的安定性により、0°から 55°までのチルト角度で、
    長期間にわたって安定した針当てを保証。
  • ・さまざまなSEM、光学顕微鏡や試料に容易に適応できる柔軟な設置。
  • ・サンプルやプローブの損傷のリスクを軽減し、評価領域にすばやく近づけ制御が簡単。
  • ・低加速電圧と短いWDでサンプルに接触するために磁気レンズを使用した高分解能観察にも適合。
  • ・センチメートルを超える距離の粗い速い動作と、ナノメートル単位の細かい動きの組み合わせが可能。
 

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