納品事例

卓上プローバー6インチステージ仕様

卓上プローバーで6インチウエハを置けるような仕様で製作しました。

もちろんステージは動かないのでポジショナーを動かして任意の位置へプローブを移動する必要はあります。

 

 

ご要望 : 卓上プローバーに6インチウエハを置いて測定したい。

提案  : 50㎜□のステージをφ6インチまで拡大します。ポジショナーの置き方でプロービングエリアも面内をカバーできます。

結果  : 6インチウエハを置いて使用されています。

ベース機種 : MBP-55

 

 

 

 

 

 

 

#マニュアルプローバー

#簡易プローバー

 

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