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セミオートプローバー AP-200 AP-300

セミオートプローバー  AP-200  AP-300

-60℃~+350℃の温度特性評価、微小電流測定

20kV以上、200A以上のパワーデバイス測定対応
◎それぞれ6、8インチまでのウエハサイズに対応したセミオートプローバーです。

◎ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も結露しません。

◎コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能です。

◎オペレーターに分かり易く操作性に優れた制御ソフトです。

◎画像認識を活かした自動ウエハアライメントや自動個別チップアライメント等を搭載できます。

◎制御ソフトはオペレーターが操作に迷わないように工程順にアイコンを並べるなど、  操作性に優れています。

◎モデルを使用して、ウェハの角度調整、XY位置の微調整を行うウエハアライメント機能を  有しています。

◎ダイ原点位置の登録後、画像処理により、自動で特徴パターンを検出し、  リファレンスモデルとして登録する機能を有しています。

◎登録されたトレイ内に置かれた登録済みの個片チップを画像認識にて自動的に  アライメントすることも可能です。(オプション)

◎GP-IB通信で上位PC、測定器からセミオートプローバーを制御することが可能です。

  • セミオートプローバー  AP-200  AP-300
  • セミオートプローバー  AP-200  AP-300
  • セミオートプローバー  AP-200  AP-300
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  • アプリケーション
    • 微小電流IV測定(fAレベル)
    • CV測定
    • 20kV/200Aレベルのハイパワー測定
    • 高周波測定
    • 高低温環境での温度特性試験
    • TDDB等の信頼性試験
  • オプション
    • -60~350℃のサーモチャック
    • チャックのトライアキシャル接続
    • チャックの高電圧・大電流対応化
    • 画像認識による自動アライメント
    • プローブカード(4.5インチ角形基板)
  • 接続が想定される測定器
    • 半導体パラメータアナライザ
    • パワーデバイスアナライザ
    • ソースメジャーユニット
    • カーブトレーサ
    • LCRメータ
    • デジタルマルチメータ
    • インピーダンスアナライザ
    • ネットワークアナライザ
    • その他、各社の各種測定器
AP-200 AP-300
対応ウエハサイズ ~8インチ ~12インチ
ステージXY移動量 X:220㎜ Y:400㎜ X:320㎜ Y:500㎜
ステージXYZ 制御分解能 0.1μm 0.1μm
ステージXYZ再現性 ±2μm以内 ±3μm以内
ステージXY精度 ±5μm以内 ±10μm
ステージXY移動速度 30㎜/sec 25㎜/sec(Max)
ステージZ軸移動量 30㎜ 80㎜
ステージZ軸移動速度 25㎜/sec(Max) 25㎜/sec(Max)
ステージθ移動範囲 ±5deg ±6deg
ステージθ制御分解能 0.001deg 0.000022294deg
外形寸法(W×D×H) 760×1000×1020㎜ 880×1260×1030㎜
重量 400kg 800kg

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