製品情報line up
マニュアルプローバー
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マニュアルプローバー α200CS α300CS
-60℃～+350℃の温度特性評価、微小電流測定対応モデル
◎それぞれ8、12インチまでのウエハサイズに対応したマニュアルプローバーです。
◎ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も結露しません。
◎コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能です。
◎ステージのXYはクイックポジションでの粗動、マイクロメーターでの微動機構を持っています。
◎プラテンのZはレバー操作での粗動とマイクロメーターでの微動機構を持っています。
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マニュアルプローバー α150 α200 α300
ウエハレベルの各種測定に対応したスタンダードモデル
◎それぞれ6、8、12インチまでのウエハサイズに対応したマニュアルプローバーです。
◎チップの吸着固定にも対応しています。
◎ステージのXYはクイックポジションでの粗動、マイクロメーターでの微動機構を持っています。
◎プラテンのZはレバー操作での粗動とマイクロメーターでの微動機構を持っています。
◎使い勝手を含めて高い満足度を頂いています。
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マニュアルプローバー α100
4インチウエハまでのIV/CV測定に最適な小型のプローバー
◎4インチまでのウエハサイズに対応したコンパクトなプローバーです。◎ステージのXYはクイックポジションでの粗動、マイクロメーターでの微動機構を持っています。
◎プラテンのZはレバー操作での粗動とマイクロメーターでの微動機構を持っています。
◎使い勝手を含めて高い満足度を頂いています。
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卓上型コンパクトプローバー MBP-55
チップレベルのIV/CV測定に最適なコンパクトなプローバー
◎50㎜までのサンプルサイズに対応したプローバーです。
◎シールドボックスまで装備した一体型です。
◎微小電流IV、微小容量CV測定、高周波測定に対応します。
◎コンパクトサイズ、軽量で持ち運びも容易です。
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