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マニュアルプローバー

  • マニュアルプローバー α200CS α300CS

    -60℃~+350℃の温度特性評価、微小電流測定対応モデル

    ◎それぞれ8、12インチまでのウエハサイズに対応したマニュアルプローバーです。

    ◎ドライエアを置換できるコンパクトシールド機構により、マイナス温度時も結露しません。

    ◎コンパクトなシールドの効果により、安定した微小電流測定が可能です。

    ◎ステージのXYはクイックポジションでの粗動、マイクロメーターでの微動機構を持っています。

    ◎プラテンのZはレバー操作での粗動とマイクロメーターでの微動機構を持っています。

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  • マニュアルプローバー α150 α200 α300

    ウエハレベルの各種測定に対応したスタンダードモデル

    ◎それぞれ6、8、12インチまでのウエハサイズに対応したマニュアルプローバーです。

    ◎チップの吸着固定にも対応しています。

    ◎ステージのXYはクイックポジションでの粗動、マイクロメーターでの微動機構を持っています。

    ◎プラテンのZはレバー操作での粗動とマイクロメーターでの微動機構を持っています。

    ◎使い勝手を含めて高い満足度を頂いています。

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  • マニュアルプローバー α100

    4インチウエハまでのIV/CV測定に最適な小型のプローバー
    ◎4インチまでのウエハサイズに対応したコンパクトなプローバーです。

    ◎ステージのXYはクイックポジションでの粗動、マイクロメーターでの微動機構を持っています。

    ◎プラテンのZはレバー操作での粗動とマイクロメーターでの微動機構を持っています。

    ◎使い勝手を含めて高い満足度を頂いています。

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  • 卓上型コンパクトプローバー MBP-55

    チップレベルのIV/CV測定に最適なコンパクトなプローバー

    ◎50㎜までのサンプルサイズに対応したプローバーです。

    ◎シールドボックスまで装備した一体型です。

    ◎微小電流IV、微小容量CV測定、高周波測定に対応します。

    ◎コンパクトサイズ、軽量で持ち運びも容易です。

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